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      真空箱氦检漏回收设备应用技术
      - 2020-10-15-

             在科技不断发展的时代,真空箱氦检漏回收设备及其应用技术也在不断发展和完善。这主要是由两个因素决定的:一方面检漏回收设备的应用技术不断对真空箱氦气检漏回收设备提出新的要求,迫使真空箱氦气检漏回收设备自我更新;另一方面,真空箱氦气检漏回收设备在随时随地的应用过程中也补充了现有氦气检漏回收的一些不足,两者之间是相辅相成、相互促进的关系。真空箱氦气检漏和回收设备的进步,经过近半个世纪的努力,今天的真空箱氦气检漏和回收设备已经告别了20世纪40年代初的局面。主要体现在以下几个方面:(1)便携:最近各国推出的小型便携式真空箱氦气检漏回收设备,不仅灵敏度高,而且携带方便,为野外作业和高空作业提供了极大的便利。(2)高压检漏:检漏口压力可高达数百Pa,有利于检测大型系统和大泄漏工件。(3)自动化程度高:氦峰自动校准、零点自动调整、自动量程转换、自动数据处理、外置打印机。整机由微电脑控制,具有菜单选择功能,一键操作,整个检漏过程一次完成。(4)无油干式检漏:一些国家生产的设备可以采用干式泵来达到无油蒸气的效果,为无油系统、芯片等半导体器件的检漏提供了有利条件。(5)检漏范围广:现在的生产设备质量范围广,不仅可以检测氦气,还可以检测其他气体。分子泵的排气系统取代了扩散泵的排气系统,不仅解决了油蒸气对质谱室的污染问题,也为仪器的快速启动和关闭做出了很大贡献。为了适应检漏口压力的变化和不同的灵敏度要求,分子泵一般采用多级结构和几种不同的速度。例如,这可以通过改变分子泵的速度和提高泄漏检测的灵敏度来实现。此外,反向扩散检漏方法实现了高压检漏,为检漏提供了良好的条件。


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